[实用新型]一种真空转移台有效
申请号: | 201920918165.5 | 申请日: | 2019-06-18 |
公开(公告)号: | CN210223934U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 赵勇;袁志耀;王芳 | 申请(专利权)人: | 南京杉捷鑫电气科技有限公司 |
主分类号: | H01J9/00 | 分类号: | H01J9/00 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 戴朝荣 |
地址: | 211101 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种真空转移台,包括结构框架和操作单元,所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂,所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱,所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接,所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合,所述的加热烘箱安装有真空腔体系统,所述的真空腔体系统与抽真空系统连通,所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境;该种真空转移台能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等,具有操作灵活方便,重复性好,加热烘箱保温效果好节能控温精度高,以及使用寿命长的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 转移 | ||
【主权项】:
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