[实用新型]光伏电池两面镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种光伏电池两面镀膜装置，包括上下料机、工作台机柜、主机柜和气源柜，工作台机柜承载硅片放置到主机柜中，主机柜至少包括若干个二合一管式PECVD反应腔，每个二合一管式PECVD反应腔至少配备镀氧化铝和氮化硅膜的气路并由气源柜供气，上下料机对每个二合一管式PECVD反应腔进行下料和上料，并在下料和上料之间完成硅片的翻面操作。本实用新型通过一台管式PECVD设备兼备电池正面和背面镀膜工艺，与上下料机配合，使一台设备实现光伏电池的双面镀膜，不需要在不同设备之间转移，减少物料转运工序，有效降低工序难度，提高生产效率和灵活性，降低硅片破损风险，提高成品率。