[实用新型]一种太阳能薄膜制备装置有效
申请号: | 201920931512.8 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN210245459U | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 陆黎华 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 韩来兵 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及一种太阳能薄膜制备装置,包括腔室、用于密封所述腔室的腔盖和用于启闭所述腔盖的启闭组件;所述启闭组件位于所述腔室上方,用于启闭所述腔盖;所述启闭组件包括驱动件、可转动的摆杆和连接件,所述连接件与所述摆杆的一端连接,所述连接件与所述腔盖可拆卸连接;所述驱动件与所述摆杆的另一端连接,用于驱动所述摆杆转动并带动所述腔盖开启或关闭。避免了在腔盖转移过程中浪费人力物力;而且多个腔室的腔盖可以同时开启,避免了多个腔室依次开启造成的开启效率低下和生产效率低下的问题;再者避免了使用行车开启腔盖时对车间的高度要求,提高了太阳能薄膜制备装置对车间的适用性和应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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