[实用新型]一种探针测试装置有效
申请号: | 201920934738.3 | 申请日: | 2019-06-20 |
公开(公告)号: | CN210155257U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 王金彬;王龙 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供了探针测试装置,该探针测试装置包括至少两个机械臂,各机械臂上均设置有测试探针和位置检测传感器,位置检测传感器能够检测到待测样品的测试点位置,以使控制模块控制各机械臂带动各自的测试探针移动至待测样品的不同测试点位置,并对待测样品的不同测试点输入相应的测试电压,以实现对待测样品的测试。本实用新型实施例提供的探针测试装置具有简单的结构,能够对待测样品的测试点进行自动识别定位,便于对待测样品性能的获取,从而简化测试方法,提高测试效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 测试 装置 | ||
【主权项】:
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