[实用新型]一种物理气相沉积样品加热装置

摘要

本实用新型属于物理气相沉积镀氧化物薄膜技术领域，具体涉及一种物理气相沉积样品加热装置。其包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构，所述加热元件为碳化硅加热板。本实用新型提供的技术方案利用碳化硅加热元件，开发了一种小型价廉的氧化物镀膜用样品加热装置，可以在高氧气压环境中实现1000℃以上稳定工作，该加热装置体积小寿命长，变温迅速，温度稳定、能承受环境气压和温度的急剧变化、价格低廉，并能很方便地在真空下实施样品的更换。为氧化物薄膜的沉积生长提供了一个很好的加热手段。