[实用新型]检测管理系统有效
| 申请号： | 201920937425.3 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210268715U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘锦坤;杨宗龙 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种检测管理系统，包括：待检测的载具，所述载具具有腔室，且所述腔室内适于具有预设气体状态；集成于所述载具上的检测获取模块，所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数，并获取检测数据；与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块，控制所述腔室内具有所述预设气体状态，并收集所述检测数据。本实用新型实施例能够实现载具的自动化气体导入、检测以及数据收集的一系列检测流程，有利于提高测试准确率以及测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 管理 系统 | ||
【主权项】：
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