[实用新型]一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置有效

专利信息
申请号: 201920953193.0 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN210092031U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 朱亮;卢嘉彬;周锋;刘文涛;钟莉敏;刘小琴;高红刚;郑猛;曹建伟 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: H01L21/463 分类号: H01L21/463;H01L21/67
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及冷却装置领域,具体涉及一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置。包括水冷底盘,水冷底盘呈环形迷宫状,上部与水冷盖板相连,下部与防护罩相连;防护罩底部连接冷却盘安装板,冷却盘安装板下端面与底板相连,底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴;升降气缸伸缩杆端部与底板相连;直线导轨有两根,平行安装在底座上;底座上安装电动机,电动机和丝杆相连,支撑架安装在直线导轨上,支撑架侧部连接水平的手臂杆,手臂杆前端安装挂板,冷却组件设于挂板旁侧;丝杆与最末端的支撑架通过丝杠螺母相连。本实用新型分级冷却,连续降温,缓和了冷却不均匀的现象;节约成本,并且更节约时间;可同时冷却多个陶瓷盘,加快了冷却速度,提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 用于 陶瓷 盘贴片 冷却 装置
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