[实用新型]高精度竖直轴进给升降机构

摘要

本实用新型涉及一种高精度竖直轴进给升降机构，包括底座、伺服电机、丝杠以及静压螺母副，在所述的静压螺母副上设有若干均匀分布的节流孔，所述的节流孔的出口位于静压螺母副与丝杠的齿形啮合的位置，在所述的节流孔内通入高压气体使得齿形啮合的位置形成气膜。采用基于气体静压丝杠结构实现竖直方向的位移，由于丝杠轴向刚度高，承载力高，克服了直线电机在竖直方向锁紧力小以及机构尺寸大的问题。由于气体薄膜的均化效应，不仅进一步提高进给精度，而且大幅降低了丝杠与静压螺母副的形状误差对运动精度的影响，同时避免了机械部件的直接接触，有效减小了运行中的摩擦力，结合高精度伺服电机，实现工作台的精密升降控制。