[实用新型]膜层沉积设备

摘要

该实用新型涉及一种膜层沉积设备，包括：腔室；晶圆放置位，设置于腔室内；泵口，设置于腔室内，位于晶圆放置位旁，连通至泵，用于抽取腔室内的气体；泵罩，罩设于泵口，且泵罩顶面密封，侧面设置有通孔，泵通过通孔抽取腔室内的气体。由于在腔室内的泵口处罩设了一个泵罩，在通过泵对腔室内的气体进行抽取时，气流要经过泵罩侧边设置的通孔进入泵口，因此被泵罩所缓冲，不会被泵直接大流量的一次性所抽取，气流更加平缓均匀，因此在这样的腔室内沉积的晶圆表面的膜层，不会由于泵的过猛的抽气作用而使得沉积气体向晶圆边缘分布，不会出现沉积的膜层边缘厚、中心薄的现象，能够沉积出平整度理想的膜层，从而提高晶圆进行膜层沉积加工时的良率。