[实用新型]一种温度补偿衰减器溅射的夹具有效
| 申请号： | 201920975762.1 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210189583U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张宇轩;倪晖;潘甲东 | 申请（专利权）人： | 福建毫米电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 泉州君典专利代理事务所(普通合伙) 35239 | 代理人： | 傅家强 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种温度补偿衰减器溅射的夹具，包括第一部件和与第一部件可拆卸连接的第二部件，第一部件上设置有长条形的第一溅射孔，第二部件上设置有与第一溅射孔相对的第二溅射孔，第一溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸的第一缓冲条，第二溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸与第一缓冲条相对的第二缓冲条，第一部件与第二部件连接时，第一部件顶面与第二部件底面相接触，温度补偿衰减器夹紧在第一缓冲条与第二缓冲条之间，通过第一部件与第二部件的配合，保证多个温度补偿衰减器摆放的稳定性，提高溅射的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 补偿 衰减器 溅射 夹具 | ||
【主权项】：
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