[实用新型]一种晶片加工用存取装置有效
申请号: | 201920977038.2 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN209804623U | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 葛文志 | 申请(专利权)人: | 浙江嘉美光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/00 |
代理公司: | 33260 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 张瑜 |
地址: | 314423 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶片加工用存取装置,包括底座、大齿轮、电动推杆、活动臂、固定块、连接板、销轴、顶盖、密封槽、密封垫圈、存取箱、电机、固定框、小齿轮、传动杆、凸轮、转轮、活动管、固定管、固定杆、推环、放置盘、支撑板、放置槽和存放盘。本实用新型结构合理,通过电机带动大齿轮转动,大齿轮带动啮合连接的小齿轮转动,小齿轮带动传动杆转动,传动杆带动凸轮旋转,凸轮转动从而将配合连接的转轮顶起,转轮带动活动管在固定管的内部与固定杆滑动连接,固定杆一端套接的推环推动放置盘沿着固定杆向上移动,放置盘在凸轮的作用下向上移动,从而方便对多个放置盘内部的晶片进行取放。 | ||
搜索关键词: | 放置盘 固定杆 大齿轮 小齿轮 转轮 本实用新型 向上移动 传动杆 固定管 活动管 推环 转动 传动杆转动 存取装置 电动推杆 电机带动 滑动连接 密封垫圈 啮合连接 配合连接 凸轮旋转 凸轮转动 顶盖 存放盘 存取箱 放置槽 固定块 固定框 活动臂 连接板 密封槽 片加工 支撑板 底座 晶片 取放 套接 销轴 种晶 电机 | ||
【主权项】:
1.一种晶片加工用存取装置,其特征在于:包括底座(1)以及密封装置和存取装置;/n所述密封装置包括固定安装在底座(1)一端的电动推杆(2)和电机(11),所述电动推杆(2)的输出端通过转轴转动连接活动臂(3)的一端,所述活动臂(3)的一端固定连接固定块(4),所述固定块(4)的一端固定连接顶盖(7),所述顶盖(7)的两端均通过销轴(6)转动连接连接板(5)的一端,所述连接板(5)固定连接在存取箱(10)的顶端;/n所述存取装置包括套接在电机(11)输出端的大齿轮(101),所述大齿轮(101)套接小齿轮(13),所述小齿轮(13)套接在传动杆(14)的一端,所述存取箱(10)的内部固定连接固定框(12),所述固定框(12)的顶端固定连接固定管(18),所述固定管(18)的顶部固定连接固定杆(19),所述固定杆(19)的侧壁套接放置盘(21),所述放置盘(21)的一端内部开有放置槽(23),所述放置槽(23)的内部固定连接存放盘(24)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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