[实用新型]一种半导体制程clamp ring平面度检测治具有效
| 申请号： | 201920978847.5 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210070841U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 周涛;惠朝先 | 申请（专利权）人： | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 641000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，包括治具主体、千分表、基座和螺柱，所述治具主体的上端面开设有凹槽，所述凹槽内侧的治具主体中点处开设有螺纹孔，所述螺纹孔的上方放置有基座，所述基座通过螺柱穿过螺纹孔与治具主体固定连接，所述基座的上方安装有千分表，所述千分表的一端安装有测头，所述凹槽上方的治具主体内侧边缘处开设有弧形凹口。本实用新型通过设置基座、千分表、测头、治具主体、螺柱、螺纹孔结构，解决了缺乏能够快速检测治具平面度的工具和平面度检测工具不易平稳固定安装的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 治具主体 螺纹孔 千分表 螺柱 本实用新型 测头 治具 半导体制程 平面度检测 弧形凹口 检测工具 快速检测 内侧边缘 平面度 上端面 中点处 面度 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，包括治具主体(1)、千分表(2)、基座(4)和螺柱(8)，其特征在于：所述治具主体(1)的上端面开设有凹槽(11)，所述凹槽(11)内侧的治具主体(1)中点处开设有螺纹孔(7)，所述螺纹孔(7)的上方放置有基座(4)，所述基座(4)通过螺柱(8)穿过螺纹孔(7)与治具主体(1)固定连接，所述基座(4)的上方安装有千分表(2)，所述千分表(2)的一端安装有测头(3)，所述凹槽(11)上方的治具主体(1)内侧边缘处开设有弧形凹口(5)。/n
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