[实用新型]PVD设备有效
| 申请号： | 201920984543.X | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN210458349U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 孙洁 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种PVD设备。PVD设备包括：真空箱；设置在真空箱内部的导轨槽、转动驱动部、阴极，转动驱动部的传动轮用于驱动载板在真空箱内移动，导轨槽用于对载板的移动方向进行导向，且阴极位于真空箱内并朝向载板；靶基距调整机构，靶基距调整机构与导轨槽连接且能够调节传动轮和导轨槽的位置，以调整传动轮和导轨槽上设置的载板与阴极的距离。本实用新型解决了现有技术中PVD设备的靶基距不能灵活调整的问题。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技有限公司，未经东泰高科装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920984543.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：螺栓副及电机
- 下一篇：一种UV-LED固化灯
- 同类专利
- 专利分类
