[实用新型]一种研磨机空气主轴装置有效
| 申请号： | 201920988837.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210414083U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 胡敬祥;高盼盼;黄郁声 | 申请（专利权）人： | 深圳方达半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/04 | 分类号： | B24B41/04;B24B55/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人： | 曾令安 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于研磨装置领域，具体涉及一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座，所述微孔石墨轴承座上设置有通气孔，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件，所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。其优点在于，保证不会造成轴承磨损的前提下，还能够提高产品的磨削精度的研磨机空气主轴装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨机 空气 主轴 装置 | ||
【主权项】：
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