[实用新型]一种聚焦离子束双束电子显微镜系统及其样品台有效
| 申请号： | 201920988838.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210167321U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 杜冰 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种聚焦离子束双束电子显微镜系统及其样品台，样品台包括样品台本体，用于承载样品；支撑柱，设置在所述样品台本体的底部，用于支撑所述样品台本体；其中，样品台本体包括具有第一部分和第二部分，第一部分形成具有顶部水平面的平台结构，第二部分由所述平台结构的第一端延伸形成，并且包括自所述顶部水平面向下延伸形成的斜面结构。斜面结构与水平面的夹角介于0～90°。可以根据实际需要设定该夹角的大小。通过设定该夹角的大小，当样品放置在该斜面结构上时，自然地呈倾斜状，该倾斜能够抵消采用FIB方法对样品进行加工时由于样品不同层的材料不同造成的切割条纹倾斜问题，得到理想的条纹图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 电子显微镜 系统 及其 样品 | ||
【主权项】：
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