[实用新型]用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统有效
| 申请号： | 201920989907.3 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN211227301U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·弗兰克;伊夫林·舍尔;斯特凡·凯勒;安德烈亚斯·穆勒;佩曼·哈梅格;朱利安·奥巴赫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源材料(150)的蒸发装置(100)，所述蒸发装置包括蒸发坩埚(110)和支撑布置(120)，所述支撑布置(120)具有多个材料托盘(125)，所述多个材料托盘(125)用于在所述多个材料托盘(125)上布置源材料。所述支撑布置(120)可去除地放置在所述蒸发坩埚(110)的内部体积(115)中。本文描述的实施方式还涉及一种蒸发源(200)和一种具有蒸发装置(100)的沉积系统(300)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发 材料 装置 沉积 系统 | ||
【主权项】：
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