[实用新型]应用于液氮冷阱的放溢装置有效
申请号: | 201920990537.5 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN210751366U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 高金德;陈强 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种应用于液氮冷阱的放溢装置,所述放溢装置具有双层结构,包括杯状主体和防冻保护层,所述防冻保护层设置在所述杯状主体的外表面,所述杯状主体的内直径大于液氮冷阱的外直径,所述杯状主体的内腔底部与所述液氮冷阱的底部连接。由于液氮冷阱容置在所述放溢装置中,这样工作人员在添加液氮时,一旦有液氮从液氮冷阱中溢出,可以被所述放溢装置容纳,从而避免溢出的液氮对设备或者人员造成危害。 | ||
搜索关键词: | 应用于 液氮 装置 | ||
【主权项】:
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