[实用新型]布气结构有效
| 申请号： | 201920996704.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210458360U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 周伟东 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张亚辉 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种布气结构，包括：进气管，进气管包括出气端；密封罩，密封罩包括进气口和多个大小不同的出气口，密封罩的进气口与进气管的出气端密封相连。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
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