[实用新型]一种双桥补偿压力传感器有效
申请号: | 201921006135.3 | 申请日: | 2019-07-01 |
公开(公告)号: | CN210071216U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 陈君杰;金晓雯;程浩 | 申请(专利权)人: | 苏州瞬通半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00;G01L9/06;G01L1/18 |
代理公司: | 32102 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 范丹丹 |
地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种双桥补偿压力传感器,该双桥补偿压力传感器包括第一压力传感器和第二压力传感器,第一压力传感器包括有源电桥,有源电桥包括相互电连接的电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4,电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4组成第一惠斯通电桥,第二压力传感器包括参考电桥,参考电桥包括相互电连接的电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8,所述电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成第二惠斯通电桥,第二惠斯通电桥设置于第二压力传感器的芯片上。该压力传感器能够通过消除零点漂移实现对极低压力的检测,即可消除零点漂移误差,提高灵敏度,实现对低至0.1kPa的压强的测量。 | ||
搜索关键词: | 电阻 电桥 第二压力传感器 惠斯通电桥 补偿压力传感器 第一压力传感器 零点漂移 电连接 双桥 本实用新型 压力传感器 压强 低压力 灵敏度 参考 对极 测量 芯片 检测 | ||
【主权项】:
1.一种双桥补偿压力传感器,其特征在于:包括第一压力传感器和第二压力传感器,/n所述第一压力传感器包括有源电桥,所述有源电桥包括相互电连接的电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4,所述电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4组成第一惠斯通电桥,/n所述第二压力传感器包括参考电桥,所述参考电桥包括相互电连接的电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8,所述电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成第二惠斯通电桥,第一惠斯通电桥与第二惠斯通电桥相互之间电连接,且均与连接端点(10)的一端电连接,连接端点(10)的另一端接地,/n第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥的一端均与供电电压端(9)电连接,通过供电电压对第一压力传感器和第二压力传感器施加压力,测量第一惠斯通电桥上的第一端点(11)与第二端点(12)之间的电压差,及第二惠斯通电桥上的第三端点(13)与第四端点(14)之间的电压差实现对压力的测量。/n
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