[实用新型]一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置

摘要

本实用新型涉及一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置。测量装置包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机。其中空间光调制器和彩色相机固定于同一高度处，并分别位于被测晶圆的两侧，显微透镜位于空间光调制器和晶圆光路之间。送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成，用于被测晶圆的运送。外包机箱由全黑不透明的不锈钢板组成，可以起到很好的遮光作用。测量方法为：计算机控制空间光调制器输出图像，经显微透镜会聚后照射在被测晶圆上，由彩色相机采集图像并在计算机中进行处理，可以得到晶圆表面面形数据。本实用新型能够快速获取晶圆面形数据，弥补了现有检测手段存在的缺陷。

主权项

1.一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置，包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机，其中：/n所述的外包机箱由漆上黑漆的不锈钢板组成，其两侧开有大小相同的长方形门洞；/n所述的送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成；/n所述空间光调制器在外包机箱内，对光波相位进行调制并输出正弦调相条纹图像信号；/n所述的显微透镜设置在空间光调制器和被测晶圆之间，放大由空间光调制器输出的条纹图像，以提高单位面积内的晶圆面形测量精度；/n所述的彩色相机设置在外包机箱内，感光元件为COMS光敏阵列；/n所述的计算机设置在外包机箱外，用于控制空间光调制器对光波相位进行调制并输出正弦调相条纹图像信号，同时控制彩色相机采集经晶圆表面反射后的条纹图像、送料平台的运动，以及处理彩色相机拍摄得到的图片。/n