[实用新型]一种拼接式靶材装置有效
| 申请号： | 201921015854.1 | 申请日： | 2019-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN210886198U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 常洪兴;徐胜 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到离子溅射靶材技术领域，尤其涉及一种拼接式靶材装置。该拼接式靶材装置的中心靶材通过中心靶材固定螺钉固定在水冷背板的中心，中心靶材的四周与外围靶材紧密贴合在一起，外围靶材通过外围靶材固定螺钉固定在水冷背板上，这样当中心靶材消耗殆尽，需要更换时，只需要更换中心靶材，外围靶材无需更换，这就节省了靶材的成本；此外，水冷背板由黄铜材料制备而成，这样就增加了水冷背板的散热效率，提高了拼接式靶材装置的工作效率。总之，该拼接式靶材装置结构简单，散热效率高，使用成本低，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拼接 式靶材 装置 | ||
【主权项】：
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