[实用新型]一种用于半导体加工的上板机有效
申请号: | 201921017211.0 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN210272268U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 姜传明;王辛茹;罗西安 | 申请(专利权)人: | 安徽天通精电新科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体加工的上板机,包括底座、装载板和顶板,所述底座的顶部水平连接有顶板,且顶板的底部四周与底座的顶部四周之间均连接有支撑杆,所述底座的顶部一侧水平安装有运送板,运送板通过底部一端的垫块与底座固定连接,所述底座的顶部中端水平连接有装载板,所述装载板的顶部一端设置有放置孔。回位弹簧推动移动杆向外移动,进而推动板材进入到穿孔的上部卡接。板材可以自动的进行移动,无需人工操作,工作效率更高。且板材在移动和被按压时,风机通过管道向风管和风孔输送风力,风管和风孔将板材的上下两面进行吹动,将外部的灰尘去除,使得板材更加洁净。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 加工 板机 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造