[实用新型]一种晶圆共用背检平台有效
| 申请号： | 201921021380.1 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN210571916U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 徐冉冉;吴秋明;钟志芳;陈志远 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆共用背检平台。所述晶圆共用背检平台底座；显微镜，所述显微镜设置于所述底座的上方；共用圆盘，所述共用圆盘设置于所述底座的上方，所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽，并且共用圆盘的顶部设置有防护板，所述共用圆盘、所述辅助槽和所述防护板之间形成一个共用平台，共用平台适用于8吋和12吋晶圆的检测，所述辅助槽内部与所述底座的侧面之间相互连通。本实用新型提供的晶圆共用背检平台具有采用共用平台，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，和操作显微镜机台，提升公司设备使用效率，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，减少平台在显微镜机台操作平台上摩擦，有效的保护平台的平整度，粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共用 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥新汇成微电子有限公司，未经合肥新汇成微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921021380.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种贴袋机用全自动折袋装置
- 下一篇：一种便于排水的屋顶用防水卷材
