[实用新型]单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置有效
| 申请号： | 201921029858.5 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210796694U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;春伟博;谭庆;黄剑利 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于单晶硅生长炉领域，特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒；掺杂机构包括外筒，外筒内壁为N边形，其中N‑1条边每条边上设有一轴座，每个轴座上设有心轴；掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔，心轴装设于偏心孔内；外筒内顶部设有封盖，转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连，封盖上设有若干止动孔，止动孔的位置与掺杂筒相对应；转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连，上端与定位止动销相连，止动销底端插入其中一个定位孔内，挡板上设有缺口。本实用新型采用多次掺杂技术，保证掺杂元素均匀分布在晶棒里，提高晶棒的品质，提高收益；可以解决原有的一次只能掺杂一份掺杂剂的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 炉一炉 多次 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
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