[实用新型]氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置有效

专利信息
申请号: 201921031744.4 申请日: 2019-07-03
公开(公告)号: CN210166373U 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 王明;王晶;沈飞 申请(专利权)人: 无锡东风新能源科技有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;C01B7/19;B01F7/24;B01D29/01
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 冯智文
地址: 214117 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置,包括回收存储箱,所述回收存储箱的一侧外表面固定安装有进入接头,所述回收存储箱的另一侧外表面固定安装有排出接头,所述回收存储箱的上表面固定安装有存储箱顶盖,所述存储箱顶盖的上表面一侧位置固定安装有驱动马达,所述存储箱顶盖的上表另一侧位置活动安装有密封门,所述回收存储箱的内表面转动安装有转动杆,所述转动杆的外表面设置有搅拌扇叶。本实用新型所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置,可对回收的废液进行搅拌,防止废液的沉淀导致分层,利于废液的再次利用和排出,能够在收集废液时,对废液中的杂质进行隔离过滤,防止废液中的杂质过多。
搜索关键词: 氢氟酸 蚀刻 制程废酸 回收 检测 装置
【主权项】:
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