[实用新型]一种集成电路中的缺陷监测用结构有效
| 申请号： | 201921035839.3 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN211086509U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 桑道春 | 申请（专利权）人： | 南京信泰电讯技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 陈列生 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成电路中的缺陷监测用结构，包括工作座、限位结构、升降结构、支板和检测头，所述工作座顶端的一侧固定有支板，所述支板一侧的工作座顶端固定有升降结构，所述检测头顶端的拐角位置处皆固定有拆装结构，拆装结构的内部依次设置有槽体、推动板、第二弹簧、卡接槽、滑动槽、卡接块、连杆以及卡块，所述槽体的内部皆设置有推动板，所述槽体一侧的升降结构底端皆设置有卡接槽，且卡接槽的上方设置有滑动槽，所述卡接槽的内部设置有卡接块，所述卡接块的内部设置有卡块。本实用新型不仅实现了该装置检测头与工作座之间间距调节的功能，实现了该装置的限位功能，而且实现了该装置检测头便于拆装的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 中的 缺陷 监测 结构 | ||
【主权项】：
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