[实用新型]用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置有效
| 申请号： | 201921039263.8 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN210215539U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王越民;王焘骏 | 申请（专利权）人： | 佛山王氏航空光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 528225 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本实用新型使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 炉内晶振片 自动 切换 装置 | ||
【主权项】：
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