[实用新型]一种六工位恒温箱有效
| 申请号： | 201921046949.X | 申请日： | 2019-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN210348283U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 宋威运;王鹏;林罡;曹其伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人： | 盛际丰 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市无锡新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种六工位恒温箱，涉及半导体生产技术领域，包括密封柜，所述密封柜的内壁固定连接有保温层，所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层，所述密封柜的正面固定安装有密封板，所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板，所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门，把单独的恒温装置集中到一起，采用严密的密封结构，把所有的可能泄露点放在密封空间，然后使用氮气定向排放，特殊处理，从使用成本来说，该设备是六工位形式，即一台该设备可替代原先的4台独立温控设备，无论是从采购成本，还是后续的维护成本，相比现有的恒温箱，都有大幅度的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六工位 恒温箱 | ||
【主权项】：
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