[实用新型]一种高产能1600片五管低压扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机，所述主机的正面通过合页铰接有主机门，所述主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，所述密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，所述低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口，本实用新型涉及低压扩散炉技术领域。该高产能1600片五管低压扩散设备，通过主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，密封炉的右侧设置有低压密封门，通过紧凑的结构形式省掉了每台设备的预留控制，相当于现在的两台设备只需要原先一台设备的操作空间，两列工艺管可以共用工作台的送取料系统，大幅度上降低了晶片的生产成本。