[实用新型]振动传感器和音频设备有效
| 申请号： | 201921052319.3 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN210112275U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了振动传感器和音频设备，振动传感器包括具有内壁的腔体以及设于所述腔体内的弹性片、质量片和具有背腔的MEMS芯片，所述弹性片贴设于所述内壁上，所述质量片安装于所述弹性片背离所述内壁的侧面上，所述MEMS芯片安装于所述质量片背离所述弹性片的侧面上，所述内壁包括与所述弹性片固定连接的贴合面，所述贴合面向远离所述弹性片方向凹陷形成有凹腔，所述弹性片覆盖所述凹腔且所述弹性片上开设有与所述凹腔连通的第一通孔，所述质量片上开设有与所述第一通孔连通的第二通孔所述第一通孔和所述第二通孔连通所述背腔和所述凹腔。本实用新型提供的振动传感器结构简单、高度小且灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 音频设备 | ||
【主权项】：
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