[实用新型]一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备有效
| 申请号： | 201921053034.1 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN210560883U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 吉野辰萌;程鹏 | 申请（专利权）人： | 天津市卓辉电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成，所述固定支架一端固定有贴紧装置，所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘，所述吸盘内部设有卡槽，所述卡槽内部设有限位装置，所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接，此碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，使用吸盘吸住碳化硅籽晶，保护碳化硅籽晶，确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷，进一步保证后期碳化硅制备的质量，通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后，挤压碳化硅籽晶，提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度，保证提升碳化硅制备的质量和速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 产生 籽晶 粘合 设备 | ||
【主权项】：
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