[实用新型]用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪有效
| 申请号： | 201921058734.X | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN209857843U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王孟哲;吴洋;梁正南;李恩全 | 申请（专利权）人： | 宁波九纵智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;F16M11/20;F16M11/04 |
| 代理公司： | 33280 杭州永曙知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 曹康华 |
| 地址： | 315300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及形貌测量仪技术领域，具体地说，涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其包括安装基台，安装基台的上表面的边缘处设有若干个沉孔，安装基台的正下方设有白光干涉系统安装座，白光干涉系统安装座内设有位于沉孔正下方的螺孔，沉孔内设有与螺孔相配合的螺栓，白光干涉系统安装座内设有用于转动螺栓的螺栓驱动机构。本实用新型不仅可以对物体表面的形貌进行测量，并且在形貌测量仪出现了故障之后可通过驱动机构转动螺栓使得白光干涉系统安装座脱离与安装基座的连接，方便了人们对于白光干涉系统安装座中的白光显微干涉光学系统进行检查，方便了对于该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的维护与安装，从而方便了日常的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 白光干涉系统 安装座 安装基台 沉孔 本实用新型 形貌测量仪 形貌测量 转动螺栓 形貌 螺栓驱动机构 白光干涉仪 螺栓 安装基座 白光干涉 光学系统 驱动机构 物体表面 显微干涉 边缘处 螺孔相 上表面 白光 螺孔 测量 脱离 配合 检查 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：包括安装基台(110)，安装基台(110)的上表面的边缘处设有若干个沉孔(111)，安装基台(110)的正下方设有白光干涉系统安装座(120)，白光干涉系统安装座(120)内设有位于沉孔(111)正下方的螺孔(310)，沉孔(111)内设有与螺孔(310)相配合的螺栓(320)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于转动螺栓(320)的螺栓驱动机构。/n
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