[实用新型]一种气相沉积炉尾气焦油清除装置

摘要

一种气相沉积炉尾气焦油清除装置，包括冷却水箱、螺旋冷却管、喷淋管、进液管和收集箱，冷却水箱内并列设置三个大管径的螺旋冷却管，三个螺旋冷却管分别为第一螺旋冷却管、第二螺旋冷却管和第三螺旋冷却管，第一螺旋冷却管和第二螺旋冷却管的上端封顶，并通过第一通气管连通，第三螺旋冷却管的顶部连通有出气管，三个螺旋冷却管的下端呈漏斗状从冷却水箱的底部穿出，并在底部开口，开口处形成排液管：本实用新型的炉尾气通过多级螺旋冷却管中喷淋降温具有很好除焦油和杂质的效果，冷却水箱内装入冰水，对螺旋冷却管内的尾气进行外部降温，内外联合降温除焦效果更好。