[实用新型]一种振动辅助的纳米辊压装置有效
| 申请号： | 201921067341.5 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN209858927U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;康洺硕;陈斯;张昭杰;易正发;徐贞潘;李先耀;颜家瑄;徐宏宇;冯开拓;戴得恩;刘骜;卢发祥;段星鑫;辛成磊 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先，将机架水平放置于实验台上，然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方，再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心，调节微调装置使压印辊水平，然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触，启动加热装置对衬底进行加热，加热完毕后开始压印，压印同时Z向振动装置开始振动，然后冷却脱模，最后控制Z轴位移平台上升，压印结束。本实用新型中采用Z向振动装置，使模板与压印胶之间产生间隙接触，减少两者之间的粘附力，通过多次间隙接触进行摩擦产热，使得压印胶融化流动，提高压印胶的填充度，再通过微调装置调节压印辊水平，冷却装置进行降温，进一步提高微纳结构的精度与保真度。 | ||
| 搜索关键词： | 压印辊 压印胶 振动装置 压印 本实用新型 间隙接触 衬底 加热 调节微调装置 启动加热装置 衬底卡盘 辊压装置 机架水平 冷却脱模 冷却装置 微调装置 微纳结构 保真度 辅助的 填充度 微接触 产热 涂胶 下移 粘附 融化 摩擦 流动 | ||
【主权项】：
1.一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，包括机架、四柱连接架、Z向振动装置、压印装置、微调装置、加热装置、衬底卡盘、冷却装置、X-Y轴位移平台、Z轴位移台,其中，机架水平放置在水平面上，四柱连接架通过螺钉固定在Z轴位移台上，微调装置通过螺钉固定在四柱连接架上，压印装置一端通过螺钉固定在四柱连接架的承重板上，另一端通过轴承配合固定在微调装置上，Z向振动装置通过螺钉固定在X-Y轴位移平台上，加热装置通过螺钉固定在Z向振动装置上，衬底卡盘装卡在加热装置上，冷却装置装卡在衬底卡盘的外表面，Z轴位移台和X-Y轴位移平台通过螺钉固定在机架上。/n
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