[实用新型]一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构有效

专利信息
申请号: 201921071037.8 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN210270237U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 蔡清元;李耀鹏;刘定权;陈刚;王曙光;高凌山;罗海瀚;丛蕊;蒋林;马小凤 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G02B5/08 分类号: G02B5/08;G02B1/10;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/30;C23C16/40;C23C16/455;C23C28/00
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 专利公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体,功能设计上,银膜高效反射可见红外波段,长波通介质反射膜反射紫外波段,同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合,常温蒸镀技术保持银膜光学性能,原子层沉积技术镀制无针孔致密膜,对银膜形成有效保护。本专利的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度,适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
搜索关键词: 一种 紫外 可见 红外 高效 反射 薄膜 结构
【主权项】:
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