[实用新型]全自动扩散装卸片机

摘要

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。该装卸片机包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮。本实用新型通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。

主权项

1.一种全自动扩散装卸片机，其特征是，包括机台(1)、三轴机械手(2)、吸盘组(3)、硅片升降台(4)、花篮(5)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟(7)、石英舟直线驱动机构(8)、超声清洗池(9)、吹气机构(10)和推动气缸(11)，所述机台(1)上固定有三轴机械手(2)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟直线驱动机构(8)、推动气缸(11)、超声清洗池(9)，三轴机械手(2)的移动端固定有吸盘组(3)，花篮直线驱动机构(6)的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮(5)，定位板滑配连接在机台(1)上，石英舟直线驱动机构(8)的滑座上固定有石英舟(7)，石英舟(7)滑配连接在机台(1)上，推动气缸(11)的活塞杆端固定在吹气机构(10)上，吹气机构(10)滑配连接在机台(1)上，机台(1)底下设有硅片升降台(4)，机台(1)上开设有用于穿过硅片升降台(4)的穿槽。/n