[实用新型]一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路有效
| 申请号： | 201921081140.0 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN210072319U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 廖密;韩晓泉;冯泽斌;刘广义;张华;张琴;王香;殷青青 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J1/42;G01J1/44 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及能量探测领域，具体涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。该能量探测电路首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的电压信号，消除光电二极管电流电压转换过程中拖尾信号对测试结果的影响。其次，滤波之后单个脉冲的电压信号经过比较器来触发触发器，触发器的下降沿时间可以调节，触发器触发控制开关电路，开关电路控制经过有源滤波电路之后的积分电路，同时积分电路通过改变可变电容器容值来改变最终的输出电压值。与现有技术相比，本实用新型电路简单，易于实现，能有效提高能量测量的精度和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 能量探测 触发器 本实用新型 分子激光器 电路 单个脉冲 电压信号 积分电路 滤波电路 光刻机 光电二极管电流 开关电路控制 光电二极管 可变电容器 触发控制 电流信号 电压转换 开关电路 能量测量 输出电压 拖尾信号 比较器 下降沿 触发 滤波 探测 | ||
【主权项】：
1.一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，包括：/n光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；/n有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；/n比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；/n触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；/n开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；/n积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况，对电压信号进行积分处理；/n供电电路，用于对能量探测电路进行供电；/n其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。/n
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