[实用新型]一种LED曝光机真空结构有效
| 申请号： | 201921081221.0 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN210428086U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 赖日阳;赖华明;王百年 | 申请（专利权）人： | 深圳市格意特智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44324 | 代理人： | 周松强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种LED曝光机真空结构，该真空结构包括抽真空组件，所述抽真空组件包括腔体上盖、真空膜和腔体下盖，所述真空膜覆盖在腔体上盖后与腔体下盖形成真空空腔，其特征在于，该抽真空组件上还设置有凸台，所述凸台设置在腔体上盖与真空膜之间，所述真空膜与腔体下盖围合时压缩真空空腔。通过凸台的设计使真空膜压缩真空空腔，减少腔体上盖与腔体下盖之间的距离，使真空空腔体积减少，加快真空结构真空处理的效率，提高了曝光机的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 曝光 真空 结构 | ||
【主权项】：
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