[实用新型]一种外延炉废气处理装置有效
申请号: | 201921081992.X | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN210751794U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
主分类号: | B01D46/42 | 分类号: | B01D46/42;B01D46/30 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种外延炉废气处理装置,包括处理装置本体,所述处理装置本体的内部固定连接有分割板,所述分割板的顶部活动连接有滤箱,所述分割板的顶部活动连接有与滤箱底部接触的支撑板,所述支撑板底部的四角均固定连接有支架,所述支架的底端贯穿至支撑板的底部并固定连接有套板,所述处理装置本体内壁的左侧与右侧均固定连接有连接块,所述连接块的内部通过销轴活动连接有摆杆,所述摆杆远离连接块的一端固定连接有位于套板内部的受力杆。该外延炉废气处理装置,解决了现有的废气处理装置不便于对净化材料进行更换,导致废气处理装置净化效率降低的问题,该外延炉废气处理装置,具备便于更换净化材料等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 外延 废气 处理 装置 | ||
【主权项】:
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