[实用新型]一种晶圆双面清洗装置有效
| 申请号： | 201921082272.5 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN210279987U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王孝军;范亚飞 | 申请（专利权）人： | 上海允哲机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓鹏 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆双面清洗装置，属于一种晶圆清洗设备，包括有控制装置、机械手装置、固定晶圆的固定装置、传动装置以及清洗装置和干燥装置，通过机械手装置拿取晶圆，U型轮有效固定晶圆，使晶圆处于悬浮状态，有效避免了人为的二次污染；通过在晶圆的上、下表面分别设置二流体喷头和干燥气喷头实现晶圆上、下表面的同时清洁和同时干燥，节约时间，提高效率；通过传动装置中的第二旋转轴带动第二齿轮，进而带动第一齿轮和小齿轮，使U型轮带动晶圆在清洗和干燥的过程中高速旋转，进一步提高了清洁的效率和清洁的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海允哲机电科技有限公司，未经上海允哲机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921082272.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
