[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

摘要

本实用新型公开了一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，包括送料台和设置在送料台一侧的底座，所述送料台上设有带有定位腔的定位块，所述底座上设有一对滑轨，所述滑轨上滑动连接有竖直向上的第一移动架，所述底座与第一移动架之间设有第一伸缩气缸，所述横向滑槽内嵌设有第一滑块，所述第一滑块的外端设有竖直向下的第二移动架，所述第二移动架的位于送料台的上方设有第一横架，所述第一横架上设有竖直向下的一对第二伸缩气缸，所述下压板上设有与定位块配合的覆膜辊，所述纵向滑槽内设有第二滑块，所述第二滑块上设有第二横架，所述第二横架上多个夹爪。本实用新型同时具有撕膜贴膜的功能，有效地提高了工作效率。