[实用新型]一种晶圆框架平整度检测装置

摘要

本实用新型属于平整度检测技术领域，尤其为一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体和摄像组件，所述平整度检测仪主体和摄像组件之间通过线缆电性连接，所述摄像组件包括握柄和摄像头，所述握柄和摄像头之间连接有定位机构，定位机构包括连接架、活动槽、压板、压缩弹簧、手拧螺杆、橡胶缓冲垫和刻度板；通过定位机构连接的握柄和摄像头，摄像头表面固定的刻度板安装在连接架的内部，同时手拧螺杆的一端旋合嵌入到连接架的内部，且手拧螺杆通过轴承与压板转动连接，同时压板表面粘合的橡胶缓冲垫与刻度板接触，便于刻度板通过压板、手拧螺杆和橡胶缓冲垫固定在连接架的内部，增加了握柄和摄像头连接的便捷性。