[实用新型]一种硅单晶炉体快速锁紧机构

摘要

本实用新型提供了一种硅单晶炉体快速锁紧机构，包括炉盖、上炉室、锁紧结构，所述炉盖包括封头和炉盖下法兰，所述炉盖下法兰设置在所述封头下端，所述上炉室包括炉壁和炉室上法兰，所述炉室上法兰设置在所述炉壁上端，所述锁紧结构包括卡块和螺栓，所述卡块结构外形为C型，所述卡块包括上卡块和下卡块，所述上卡块上设置有通孔，所述下卡块上设置有螺纹孔，所述螺栓穿过所述通孔和所述螺纹孔将所述卡块固定卡紧在所述炉盖下法兰和所述炉室上法兰上。本实用新型速锁紧机构便于硅单晶炉体的拆卸和装配，提高了单晶炉的生产效率，同时缩小法兰的宽度，降低制造成本；另外可以避免了灰尘掉入炉内影响晶体的质量。