[实用新型]一种硅晶圆结构有效
| 申请号： | 201921088046.8 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN209929311U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 徐建卫;徐艳;汪鹏 | 申请（专利权）人： | 上海矽安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/306;H01L21/308;B81C1/00 |
| 代理公司： | 31243 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王奎宇;杨孟娟 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种硅晶圆结构，硅晶圆结构包括：硅晶圆主体，在硅晶圆主体上设有第一槽和第二槽，硅晶圆主体还形成有第一尖角或第二尖角，其中，第一尖角或第二尖角设置在第一槽和第二槽的连接处。本申请中硅晶圆主体的背面用抗腐蚀的薄膜保护，使正面腐蚀时可以停止在薄膜上，夹角处被保护，可以有效地避免尖角被腐蚀液迅速腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 硅晶圆 尖角 第二槽 第一槽 腐蚀 薄膜保护 腐蚀液 夹角处 抗腐蚀 有效地 薄膜 申请 背面 | ||
【主权项】：
1.一种硅晶圆结构，其特征在于，所述硅晶圆结构包括：硅晶圆主体，在所述硅晶圆主体上设有第一槽和第二槽，所述硅晶圆主体还形成有第一尖角或第二尖角，其中，所述第一尖角或所述第二尖角设置在所述第一槽和所述第二槽的连接处。/n
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