[实用新型]工作台及其磁浮重力补偿装置有效
| 申请号： | 201921088504.8 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN210819425U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孟辉 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清;陈婷婷 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种工作台及其磁浮重力补偿装置。磁浮重力补偿装置包括：第一磁钢，所述第一磁钢呈筒状；第二磁钢，所述第二磁钢呈筒状并设置在所述第一磁钢内且与所述第一磁钢径向间隔开；至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述第二磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述第二磁钢的两轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述第二磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的筒壁厚小于所述第二磁钢的筒壁厚；其中所述第一磁钢的充磁方向为径向充磁，所述第二磁钢和所述端部磁钢的充磁方向为轴向充磁。根据本实用新型的磁浮重力补偿装置，能够提供大幅值的磁浮力，且在大行程上磁浮力波动很小。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 及其 重力 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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