[实用新型]一种坩埚转移装置有效
申请号: | 201921092446.6 | 申请日: | 2019-07-12 |
公开(公告)号: | CN211122903U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 李冬军;吴成乞 | 申请(专利权)人: | 湖南三德科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00;G01N21/88;G01V8/10 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;张园 |
地址: | 410205 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种坩埚转移装置,包括用于固定于机械手的连接座、夹爪开合机构和至少两组相对平行设置的夹爪,夹爪设置在夹爪开合机构上,夹爪开合机构能够带动相对设置的夹爪沿直线相互靠拢和分开;夹爪开合机构上设有位置感应机构,位置感应机构用于检测相对平行设置的夹爪开合的距离。本实用新型具有适应范围广、适应性强、操作方便、故障率低等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 转移 装置 | ||
【主权项】:
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