[实用新型]一种监别孔隙装置以及一种离子注入机有效
| 申请号： | 201921098749.9 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN210040120U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 朱洁;廖宜专;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31313 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种监别孔隙装置，其特征在于，包括：多个监别孔隙单元，其中每个监别孔隙单元包括石墨板，在所述石墨板上设置有供离子束穿过的孔隙，其中所述多个监别孔隙单元彼此连接，使得所述多个监别孔隙单元保持在同一平面内；以及旋转组件，其用于以可转动的方式支承所述多个监别孔隙单元。通过本实用新型，可以容易地更换监别孔隙单元，以便实现连续的生产而无需频繁停机。 | ||
| 搜索关键词： | 孔隙单元 本实用新型 石墨板 彼此连接 旋转组件 可转动 离子束 停机 支承 穿过 生产 | ||
【主权项】：
1.一种监别孔隙装置，其特征在于，包括：/n多个监别孔隙单元，其中每个监别孔隙单元包括石墨板，在所述石墨板上设置有供离子束穿过的孔隙，其中所述多个监别孔隙单元彼此连接，使得所述多个监别孔隙单元保持在同一平面内；以及/n旋转组件，其用于以可转动的方式支承所述多个监别孔隙单元。/n
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