[实用新型]MEMS麦克风和包括MEMS麦克风的MEMS麦克风包装有效
申请号: | 201921101035.9 | 申请日: | 2019-07-12 |
公开(公告)号: | CN210168228U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 金大荣;李镇珩 | 申请(专利权)人: | DBHiTek株式会社 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人: | 余文娟 |
地址: | 韩国首尔*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | MEMS麦克风包括:基板,其限定空腔,该空腔包括沿竖直方向延伸的第一侧壁;背板,其设置在基板上方并限定多个声孔;膜片,其设置在基板和背板之间,该膜片具有至少一个通气孔;锚固件,其从膜片的圆周开始延伸,将膜片的端部连接到基板的上表面;以及至少一个路径构件,其与通气孔连通,路径构件提供声压向下流向空腔的流动路径。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 包括 包装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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