[实用新型]MEMS麦克风和包括MEMS麦克风的MEMS麦克风包装有效

专利信息
申请号: 201921101035.9 申请日: 2019-07-12
公开(公告)号: CN210168228U 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 金大荣;李镇珩 申请(专利权)人: DBHiTek株式会社
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 代理人: 余文娟
地址: 韩国首尔*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: MEMS麦克风包括:基板,其限定空腔,该空腔包括沿竖直方向延伸的第一侧壁;背板,其设置在基板上方并限定多个声孔;膜片,其设置在基板和背板之间,该膜片具有至少一个通气孔;锚固件,其从膜片的圆周开始延伸,将膜片的端部连接到基板的上表面;以及至少一个路径构件,其与通气孔连通,路径构件提供声压向下流向空腔的流动路径。
搜索关键词: mems 麦克风 包括 包装
【主权项】:
暂无信息
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