[实用新型]基于探针台的载片防滑装置有效
| 申请号： | 201921102352.2 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210604689U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘召满 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于探针台的载片防滑装置，包括载片台，所述载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置，所述第一防滑装置包括从载片台边缘向内依次固定的第一阻条、第二阻条和第三阻条。将晶圆放置在载片台上进行测试时，第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用，避免晶圆滑落破碎，避免生产造成损失。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 探针 防滑装置 | ||
【主权项】：
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