[实用新型]基于探针台的载片防滑装置有效
申请号: | 201921102352.2 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN210604689U | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 刘召满 | 申请(专利权)人: | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R31/26 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 轩勇丽 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了基于探针台的载片防滑装置,包括载片台,所述载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置,所述第一防滑装置包括从载片台边缘向内依次固定的第一阻条、第二阻条和第三阻条。将晶圆放置在载片台上进行测试时,第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用,避免晶圆滑落破碎,避免生产造成损失。 | ||
搜索关键词: | 基于 探针 防滑装置 | ||
【主权项】:
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