[实用新型]大直径高效N型单晶硅的单晶炉有效
| 申请号： | 201921105646.0 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210215612U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉豪;徐文州;樊茂德;喻先丽 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够降低通入氩气对炉体内热场造成影响，能够保证氩气气流稳定的大直径高效N型单晶硅的单晶炉。该大直径高效N型单晶硅的单晶炉，包括炉体、上炉腔；所述炉体的炉膛内设置有坩埚、石墨托、底部旋转支撑杆；所述坩埚外侧设置有加热装置以及保温罩；所述保温罩上方设置有环形布气筒；环形布气筒与保温罩顶部以及炉体内壁之间形成惰性气体进入腔；惰性气体进入腔内设置有气体加热装置；坩埚上方设置有导流筒；所述保温罩底部设置有通气孔；炉体上端设置有连通惰性气体进入腔的进气口；所述布气筒上设置有布气孔，所述炉体底部设置有出气口。采用该大直径高效N型单晶硅的单晶炉能够便于控制含氧量，同时能够保证单晶硅的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 直径 高效 单晶硅 单晶炉 | ||
【主权项】：
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